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光學微電子凈化工程目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫1藥、食品制造等行業不可或缺的重要設施。是將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給于特別設計之密閉空間。
無塵車間潔凈室（區）與周圍的空間必須維持在一定的壓差，并應按工藝要求決定維持正壓差或負壓差。1、不同等級的無塵車間潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa,潔凈區與非潔凈區之間的壓差不應小于5Pa,潔凈區與室外的壓差不應小于10Pa。2、無塵車間潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風量，根據潔凈室特點，宜采用縫隙法或換氣次數法確定3、送風、回風和排風系統的啟閉宜聯鎖，正壓差潔凈室聯鎖程序應先啟動送風機，再啟動回風機和排風機，關閉時聯鎖程序應相反，負壓差潔凈室聯鎖程序應與上述正壓潔凈室相反4、非連續運行的潔凈室，可根據生產工藝要求設置值班送風，并應進行凈化空調處理。
無塵車間的溫濕度操縱由其生產工藝流程決策，但其精度另外也需看其屋子的尺寸比如計量檢定室、光纖傳感器刻線室、儀器儀表生產制造和裝配線車間等。前兩者都為小屋子，中央空調精度(這兒關鍵指溫濕度)規定高；后二者為很大的生產制造車間，溫濕度精度規定較低。因此其屋子尺寸也會決策恒溫恒濕設備車間的精度。無塵車間對溫濕度的操縱決取于其生產工藝流程。在考慮制作工藝的標準下，還應當充分考慮人的舒適度。由于流汗之后，對商品將有環境污染，非常是怕鈉的半導體材料車間，這類車間不適合超出25度。環境濕度過高造成的難題大量。相對濕度超出55%時，冷卻循環水壁厚上面冷凝水，假如產生在高精密設備或電源電路中，就會造成各種各樣安全事故。相對濕度在50%易銹蝕。
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